氣體分子污染物（AMC），又名為懸浮分子污染物/氣載分子污染物，是危害微電子生產工藝并導致成品率降低的分子態化學物質，大多出現在潔凈室和受控環境的大氣中。 對于微電子潔凈室控制的挑戰在于AMC分子污染物的尺寸比粒子要小得多，會在半導體制造的柵底氧化、薄膜沉積、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光刻等多個關鍵工藝上對晶片表面、設備表面產生侵蝕，還會產生非控制性硼化物或磷化物摻雜、晶圓表面或光學鏡面產生陰霾、微粒產塵等危害，從而大大影響了產品的質量。晶圓加工流程 圖源：泛林集團AMC分類標準 圖源：AAF（愛美克）根據化學品的特性，在國際半導體設備及材料協會在SEMIF21-1102的標準中將潔凈室中的空氣污染物分為四種，一是酸性污染物，包括鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸等，能夠誘發硼污染；第二種是堿性污染物，主要是氨氣，會造成保護層顯影不良；第三種是可凝性污染物，第四種是摻雜性污染物，兩者會造成元件表面污染，如P/N翻轉、氧化膜老化，金屬離子造成結合不緊密等。這些AMC主要來源包括工藝排風、汽車尾氣、鍋爐排煙以及化工廠排氣等；潔凈室內AMC的來源包括管路泄漏、清洗和濕法刻蝕設備泄漏、建筑與設備材料氣體散發和潔凈室內人員攜帶等。另一個挑戰在于，隨著大尺寸晶圓的普及，單個晶圓的成本增加，針對機臺控制納米級顆粒物和AMC污染的需求也相應增加。此外，在EUV機臺和多重曝光DUV光刻機中使用的...
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2022
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近年來，伴隨著我國國民經濟的快速發展和人民生活水平的提高，國家醫療衛生事業同樣也得到了迅猛發展，新的醫療技術對室內環境的要求不斷提高。其中手術室凈化空調設計成為綜合醫院空調設計最為重要的一環，潔凈手術室凈化設計的目的是通過凈化設計有效阻止室外污染物侵入室內，降低術后感染率，同時迅速有效排除室內的污染氣，防止病菌擴散。一、室內設計參數的確定凈化空調設計參數的確定與普通舒適性空調系統有很大的區別。從溫濕度來說，舒適性空調的室內溫濕度的確定只考慮工作人員的舒適性要求，而凈化空調不僅要考慮舒適性，更重要的是保證工藝所要求的特殊的溫度、濕度環境（包括減少靜電荷）。 除了溫濕度以外，凈化空調的設計參數還包括室內外的發塵量和發菌量。室外大氣塵計數濃度各地差異很大，最高值為106粒/L。對于高效空氣凈化系統的5級及其以下的潔凈室，當大氣塵濃度在10粒/L以內變化時，對潔凈室含塵濃度的影響可以忽略不計。高效空氣凈化系統的設計大氣塵濃度宜取M=1O6粒/L。而中效空氣凈化空氣系統，其潔凈度受大氣塵濃度影響很大，所以設計大氣塵濃度宜分區決定。二、凈化空調冷熱源凈化空調采用設置在裙房屋面的兩臺多功能風冷熱泵機組做為冷熱源，在制取7/12℃空調冷水的同時提供40/45℃空調熱水，作為凈化空調機組的冷源及再熱熱源，以達到節能目的。 多功能風冷熱泵機組單臺制冷量681kW，熱回收量560kW...
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★NEWS★合格的第三方潔凈室檢測機構普遍要求要有全面的潔凈相關檢測能力，可為藥品GMP車間、電子無塵車間、食品藥品包裝材料車間、無菌醫療器械車間、醫院潔凈手術室、生物普遍實驗室、保健食品GMP車間、化妝品/消毒品車間、動物實驗室、獸藥GMP車間、飲用桶裝水車間等潔凈室、潔凈廠房提供第三方檢測、調試、咨詢等專業技術服務。 潔凈室檢測范圍一般包括：潔凈室環境等級評定、工程驗收檢測，包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產車間、電子產品產車間、GMP車間、醫院手術室、動物實驗室、生物安全實驗室、生物安全柜、超凈工作臺、無塵車間、無菌車間等。 檢測項目：風速風量、換氣次數、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。具體可以參考潔凈室檢測相關標準。一、風速風量換氣次數潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此，測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的...
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1. 空氣過濾器主要參數1.1 凈化空調通風系統過濾器尺寸⑴ 空調通風系統中最常用的過濾器; 無論是框式、袋式或W 式，名義尺寸通常為610mm X 610mm, 實際上就是發達國家24″X 24″的規格，對應的外框尺寸則因生產廠不同單邊分別為592mm至597mm。⑵ 凈化系統末端用的高效過濾器, 發達國家始終以610mm ( 24″)為主, 其派生尺寸為203mm、305mm、762mm、915mm、1219mm、1524mm、1829mm（8″、12″、30″、36″、48″、60″、72″）。⑶ 國內常用的無隔板高效過濾器尺寸基本上與國外的相同，有隔板高效過濾器的常用尺寸有484mm X 484mm X 220mm (GB-01 型) 和630mm X 630mmX 220mm (GB-03 型），這里的GB 與常說的“國標”無關，其中G 是代表過濾器，B 是代表玻璃纖維。1.2 過濾器的額定風量⑴ 過濾器的額定風量是該過濾器可以通過的最大風量，它取決于過濾材料的面積(不是過濾器的面積，過濾材料的面積經常是過濾器迎風面積的數十倍)，如通過過濾材料的氣流速度相同，過濾材料的面積大，通過的風量也大，目前同樣結構過濾器的額定風量均取決于過濾器的尺寸大小。⑵ 同種結構、同樣濾料的過濾器，當終阻...
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藥廠潔凈區劃分ABCD，醫藥工業潔凈室和潔凈區是以微粒和微生物為主要控制對象，同時還應對其環境溫度、濕度、壓差、照度、噪聲等作出規定。01藥廠潔凈區劃分ABCD等級A級：高風險操作區，如：灌裝區、放置膠塞桶、敞口安瓿瓶、敞口西林瓶的區域及無菌裝配或連接操作的區域。通常用層流操作臺（罩）來維持該區的環境狀態。層流系統在其工作區域必須均勻送風，風速為0.36-0.54 m/s（指導值）。應有數據證明層流的狀態并須驗證。在密閉的隔離操作器或手套箱內，可使用單向流或較低的風速。B級：指無菌配制和灌裝等高風險操作A級區所處的背景區域。C級和D級：指生產無菌藥品過程中重要程度較低的潔凈操作區。A級對應的是動態百級，即在動態條件下應仍為百級。B級對應的是靜態百級，即在靜態條件下滿足百級即可，在動態條件下可以符合萬級標準。（GMP里面沒有所謂千級的說法。）C級對應萬級，靜態條件下符合萬級標準，動態條件下符合D級標準，即十萬級。D級對應十萬級 。02藥廠ABCD潔凈區環境要求A級潔凈區操作區的空氣溫度應為 20－24℃操作區的空氣相對濕度應為 45％－60％操作區的風速：水平風速≥0.54m/s垂直風速≥0.36m/s高效過濾器的檢漏大于99.97%照度：＞300lx-600lx噪音：≤75db（動態測試）B級潔凈區操作區的空氣溫度應為 20－24℃操作區的空氣相對濕度應為 45％－60％房間換氣次...
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為了讓潔凈室能夠達到良好的效果，國內外有不少相關文獻的發表，闡述角度也各有不同。但是，實際操作很難做到理想地配合，而且設計者很難把握施工安裝質量以及使用和管理情況。”下面主要是以潔凈室凈化措施中達到潔凈度要求的四個必要條件進行闡述！一、送風潔凈度要保證送風潔凈度符合要求，關鍵是凈化系統末級過濾器的性能和安裝。凈化系統末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準規定高效過濾器效率分四檔：A類為≥99.9%，B類為≥99.99%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0。1μm粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器)；亞高效過濾器為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送風潔凈度要求，又要考慮經濟合理。從潔凈度要求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來，100萬級可選用高中效過濾器；低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器；1萬~100級選用B類過濾器；100~1級選用C類過濾器。每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇，選擇高性能的還是低性能的，要視具體情況而定。當環境污染嚴重，或室內排風比例很大，或該潔凈室特別重要，需要較大安全系數，在這些或其中之一情況下，均要選擇高一類過濾器；反之可選擇較低性能過濾器。對0.1μm粒子要求控制的潔凈室，不論控制的粒子濃度高低均要選擇D...
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用于生產精密電子產品的受控環境就是電子工業潔凈室。該類潔凈室內的污染物在空氣中的微粒、溫度、濕度、氣壓、氣流模式、空氣運動、振動、噪音、生物體和照明方面受到高度控制。對于敏感的先進電子產品，現代OEM不能冒任何微粒污染的風險——微芯片上的微小灰塵可能與巨石一樣具有破壞性。受污染的產品每年給電子制造商造成數百萬美元的損失，可能導致失去最重要的ISO體系認證，并產生難以撼動的負面宣傳。因此需要建立電子潔凈室，以防止高精度的電子產品損壞。同時，電子制造商必須確保其制造空間的清潔，以保持其產品的完整性。除了控制空氣中顆粒的數量和大小以防止不可修復的破壞外，電子潔凈室系統還可以滿足對防靜電要求。此外，電子處理和存儲需要潔凈室。電子潔凈室標準根據不同的應用，電子潔凈室將滿足特定的潔凈度要求。電子潔凈室必須符合兩個標準：FED STD 209E：該標準根據標準單位(空氣體積單位為ft3)定義空氣中懸浮顆粒物的濃度。FS209E包含六個等級:1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，其中1級為“最干凈”，100000級為“最臟”。ISO 14644-1：該標準根據標準單位(空氣體積單位為m3)定義了空氣中懸浮顆粒的濃度。ISO 14644-1有九個等級，ISO 1是“最干凈”的，ISO 9是“最臟”的。這兩個標準都根據潔凈室空氣中發現的顆粒數量對潔凈室進行分類，可以互換使用...
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近年，越來越多的食品廠開始考慮在內包裝等工段區域建設潔凈車間，建設潔凈車間可有效減少生產出的產品受到微生物污染，有效提高產品品質和生產效益。1何為潔凈車間潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。什么是十萬級潔凈車間呢？簡單來說，就是車間每立方米空氣中直徑≥0.5μm粒子數不大于352萬個，空氣中粒子數越少，就意味著灰塵和微生物數量越少，空氣越潔凈。十萬級潔凈車間還要求車間每小時換氣需達到15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。2食品廠車間的分區食品車間可大致分為三個區域：一般作業區、準清潔區、清潔作業區⊙一般作業區（非清潔區）：一般的原料、成品、工具儲存區域，包裝成品轉運區域等原料、成品裸露風險較低的區域，如外包裝室、原輔料倉庫、包裝材料倉庫、外包裝車間、成品倉庫等。⊙準清潔區：要求次之，如原料處理、包材處理、包裝、緩沖間（拆包間）、一般生產加工間、非即食食品的內包裝間等成品處理但不直接裸露的區域。⊙清潔作業區: 此分區常被建設為潔凈車間，通常指衛生環境要求最高，人員、環境要求...
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潔凈室的設計計算潔凈室的設計計算包括空調負荷計算，風量計算，潔凈度校核計算等內容。空調負荷計算潔凈室的空調負荷包括復季冷負荷與冬季熱負荷。有人認為計算方法與一般空調負荷的計算方法相同。其實，潔凈室的負荷計算與一般空調的負荷計算有許多區別。對于許多材料中推薦的負荷估算指標，不知道這些估算指標的詳細來源，在工程實踐中發現這些估算指標比實際負荷大很多。對于一些沒有經驗的設計人員，也許會受到估算指標的影響而不相信自己的計算數據，進而加大安全裕量，或者干脆套用估算指標，這是非常有害的。在前幾年GMP認證后，許多制藥企業感嘆凈化空調系統能耗太大而用不起。難道是凈化空調系統的錯誤嗎？有學者發現，無論是冷負荷還是送風量都是層層加碼，導致機組、水泵、風機等容量偏大很多。凈化空調比一般空調的能耗大是肯定的，但應大的有依據。當前，對凈化空調的節能設計迫在眉睫。在調研中發現，有不少空調用戶在最熱月，實際用冷量是設計冷量的1/2 ~ 3/5。若把這樣的設計作為估算冷負荷指標的統計源，其數據必然大很多。所以，設計人員應相信自己的計箅，回訪自己的用戶，獲得真實的冷負荷指標。對于各種書籍中相互復制的冷負荷估算指標成科學對待，只有在工程設計初期估算造價時，有一點參考價值。在施工圖階段，應采用計算出的冷負荷選擇設備。空調負荷計算方法很多，目前有許多負荷計算的軟件，使負荷計算變得非常容易。在應用軟件或手工計算負荷時，應...
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