IC 生產由于其工藝加工線寬極小，所以對溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風集中處理加FFU系統，在下夾層或.上靜壓箱內設干表冷器。潔凈室內的相對濕度由新風機組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風處理及相對濕度保證新風處理機組中設置初、中、高效三級過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內ULPA過濾器的使用壽命；設置化學過濾器主要是去除室外空氣中對IC生產有影響的雜質氣體，根據工廠所在地的室外空氣品質設置相應的化學過濾器，化學過濾器后通常需設中效過濾器以去除化學過濾器本身的產塵；通過設在新風處理機組內的兩級表冷、兩級加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風處理機組出口的干球溫度及露點溫度全年基本恒定，而機組出口的露點溫度還應根據其對應送風區域內的相對濕度進行連續的重新整定，以保證室內的相對濕度。這里不以房間內的相對濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內的相對濕度連續的重新整定機組出口的露點溫度，再由該露點溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時的濕度控制。由于外網蒸汽中含有對IC生產有影響的雜質，新風處理機組的加濕應采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設在表冷器前，這樣可以使新風處理機組有提高相對濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級純水(一級RO...
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2025
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一、安全保證措施1.在項目經理領導下，以施工現場專職安全員為首，組織各施工隊、組，各工種的兼職安全員，成立現場安全管理小組，負責全工地的安全生產的教育、指導、監督和管理2.加強對職工的安全思想教育，提高職工“安全第一、預防為主”的方針的認識，讓每個職工懂得安全生產“人人有責”。組織現場職工學習，貫徹建筑安裝安全技術操作規程，對不同工種分別學習有關安全規程，堅決貫徹執行3.嚴格貫徹中華人民共和國建筑法第四十六條的規定“未經安全生產教育培訓的人員，不得上崗作業”。與每個職工簽訂安全責任協議，實行獎罰制度，約束職工自覺遵守各項規章制度4.由專職安全員對工地現場的安全生產進行經常性的巡回檢查外，每星期組織一次現場安全管理小組對工地現場進行一次安全生產檢查，促進現場安全生產更上一臺階，消除一切安全隱患，到達安全生產預防為主的目的5.施工用電由專人負責，接線正確，不得亂拖亂拉，機電設備應一律設安全防護罩和接地、接零。機具操作由專人負責，并安裝觸保器，做到一機一閘一觸保器，同時配有一箱一鎖。特殊工種操作者必須持證上崗，確保安全生產。夜間施工應有足夠的照明，并有電工跟班6.切實做好現場施工管理工作，道路要平整、暢通，材料、構件堆放有序且平穩整齊。施工現場及職工生活區設置消防器材，在嚴禁明火的場所嚴禁吸煙，宿舍內吸煙應備有煙灰缸，不準隨便亂丟煙頭。現場設有醒目安全標志及安全宣傳圖牌，增強職工安全意識...
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一、相關設計及規范要求(1)進入施工現場的所有設備、主要材料及配件都應有產品合格證或質保書，設備應有銘牌，不合格的嚴禁進場使用(2)各類吊、支托架、管道、風管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應嚴格除銹并刷防銹漆(埋地應刷兩度防銹漆)，竣工前應刷面漆，各類管道的色標應按設計或規范要求執行，并在主干管上標有流向標記(3)室內給水支管(管徑20及以下)的安裝，管道在轉角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應設管卡，管卡必須安裝牢固，水管管徑在40及以上的，應采用U型鋼、U字螺栓或吊架固定，必要時按要求設置固定支架(4)消防箱消防栓口應朝外，栓口中心距地面高度應符合規范，允許偏差不大于20mm (5)管道焊接連接時應根據鋼管的壁厚在對口處留有一定的間隙1至3mm，并按規范規定坡口，焊縫應平整、飽滿。焊波均勻一致，寬度和高度應符合規范規定，焊瘤、飛濺、藥渣等應及時清除(6)衛生器具安裝完畢應進行24小時盛水試驗。衛生器具固定必須牢固無松動，不得使用木螺絲。便器固定螺栓應使用鍍鋅件，并用軟墊片和平墊片壓緊，不得使用彈簧墊片。嚴禁在多孔磚或輕型隔墻中使用膨脹螺栓固定衛生器具二、設備安裝1)設備吊裝冷卻塔設置在廠房屋頂，因此在設備進場并驗收合格后，將組織力量進行吊裝作業。吊裝前，必須組織相關單位、人員對現場進行勘測，一致確認滿足吊裝要求，建立吊裝應急機制。吊裝時，必須請專業吊裝公司進行吊裝，并...
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一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時應根據圖紙設計的要求進行。管道活動支、吊架的具體形式和設置位置根據現場實際情況確定。安裝前，先定位放線，根據設計要求及規范選用支、吊架材料。管道支、吊架設置于保溫層外部，在穿過支、吊架處應鑲以墊木。支吊架制作、組對時先點焊，檢查合格后方可正式焊接，使支、吊架的型式、材質、加工尺寸及焊接符合規范要求，制作完成后及時進行防銹處理。安裝時應根據設計要求進行放線并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關標準的規定。支吊架應牢固緊密的固定在墻、柱或其他錨固預埋件或結構物上。若管道過長時，應按要求加設固定支架。二、、管道的制作、安裝管道的制作、安裝是工程的重點內容，對于不同材質的管材，采用不同的施工方法：1)、無縫鋼管(1)無縫鋼管使用前應除銹、刷漆(2)在正確測量的基礎上，按實測尺寸下料，可采用手工、機械切割，切割的管口應平整，內壁毛刺及時清除干凈。對焊的管口必須根據工藝要求進行倒坡(3)焊條、焊劑使用前應根據出廠說明書的規定進行烘干，并在使用過程中保持干燥。焊條藥皮應無脫落和顯著裂紋。焊縫要飽滿，無咬口，焊接后焊渣要清理干凈(4)管段與管段連接采用法蘭盤連接或管道與法蘭閥門連接者，須按設計要求和工作壓力選用標準法蘭盤。法蘭盤的連接螺栓直徑、長度及法蘭盤連接襯墊應符合設計及規范要求。管材與法蘭盤焊接時先點焊2~3點后再找平找正后兩面焊接(5)各級焊縫質...
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施工工序：通風技術、物資準備→圖紙交底→洞、孔預埋→風管制作→管道安裝→設備安裝→設備調試→風量平衡測試→系統調試交驗一、相關設計及規范要求(1)空調通風管道的鍍鋅鋼板厚度按照現行規范執行。風管的彎曲半徑為0.5A(A為轉彎邊邊長)；(2)風管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式，具體情況視現場實際情況而定；(3)空調風管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時，應在平臺設置卡具，使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm，對角線誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm；(4)角鋼法蘭鉆孔時，應采用無誤差標準法蘭配對鉆孔，同一批量加工的相同規格法蘭的螺孔排列應一致， 并具有互換性；(5)空調系統風管螺孔間距≯100mm，鉚釘孔間距≯100mm； 機械排風系統風管螺孔鉚釘間距≯120mm；法蘭應四角設螺栓；螺栓、螺母、鉚釘、墊圈等均應為鍍鋅件； (6)法蘭間墊料采用閉孔海綿橡膠墊，厚度為6mm，墊料接縫處應采用梯形或企口接口，不得對接。安裝時兩面涂膠粘牢，墊料內側應與風管內部齊平。風管軟接頭采用高強度光面合成革，安裝時光面向內，接縫處應嚴密； (7)風閥、風口等部件在組對時，必須清除內、外表面油脂、污垢、積塵；(8)室內風管支吊架制作按規范制作，吊桿采用φ8~φ10圓鋼制作。吊點應垂直于地面，吊點間距3m左右。吊點不應設置于風閥、風口部位。防火閥等較重部件應單獨設置吊點。風管橫擔角...
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施工工序：電氣技術、物資準備→圖紙交底→管路預埋→配電柜(箱)安裝→橋架、保護管敷設→電線電纜、母線敷設→燈具、器具安裝→設備、器具安裝→送電、單體調試→系統調試交驗一、防雷接地系統該工程利用基礎鋼筋作接地體，基礎內不少于2根主筋焊接連通形成環網，并與樁內鋼筋連接。屋面防雷裝置通過引下線(柱內主筋)與基礎接地網連通。配電間設總等電位端子箱MEB，由—25*4鍍鋅扁鋼從接地網引至。(1)接地體(線)的連接應采用搭焊接，其長度必須滿足：扁鐵寬度為2倍(至少三個棱邊焊接)；圓鋼直徑的6倍；圓鋼與扁鐵連接時，其長度為圓鋼的6倍；扁鐵與鋼管(或角鐵)焊接時，為了焊接可靠，除應在其接觸部位兩側進行焊接外，還需用鋼帶彎成的弧形(或直角形)卡子，或直接用鋼帶本身彎成弧形(或直角型)與鋼管(或角鐵)焊接；(2)所有引入建筑物的金屬管道、電纜金屬外皮等均應與接地裝置作等電位連接，做法按國標圖集《等電位聯結安裝》；(3)電氣設備每個接地部分應以單獨的接地干線相連接,不得在一個接地線中串接幾個需要接地部分；(4)接地線跨越建筑伸縮縫，沉降縫時，應加設補償器，所用扁鐵彎成s2型狀代替；(5)設置接地電阻檢測點，測試值應滿足設計要求。二、盤、柜及橋架安裝(1)配電柜(箱)在搬運和安裝時，應有防震、防潮、防止柜架變形和漆面受損措施； (2)基礎槽鋼安裝，垂直度、水平度的允許偏差應符合規定。型鋼應固定牢固，接地良...
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隨著電子技術的發展，電子產品越來越多地應用于各類生產生活領域。與之相適應，電子生產廠房的修建也與日俱增。其中的接地技術較常規的建筑接地種類繁多，涉及面廣。接地系統根據用途具體可分為電源系統接地、電氣保護接地、防靜電接地、信息系統的接地、電子設備接地、防雷接地幾個種類。1、電源系統接地在某電子廠房設計中使用TN-S系統。變壓器中性點接地，系統的保護線與中性線完全分開，這種方式對供電、保護、經濟合理性等均十分有利，其選擇原則與常規建筑一致。對于傳達室等距離主體建筑較遠的零星建筑單體，采用帶PE線的五芯電力電纜予以供電，距離超過50米以上的建筑須按規范要求重復接地。2、電氣保護接地采用TN-S系統時，電氣設備不帶電的金屬外露部分與電力網的接地點采用直接電氣連接。當帶電相線因絕緣損壞碰設備外殼時，通過設備外殼構成該故障相對地線的單相短路。利用很大的短路電流，使線路上的保護裝置(如熔斷器、低壓斷路器等)迅速動作，切斷電路，從而消除人身觸電危險。在電子生產廠房中，生產流水線上設備密集，且多為金屬外殼的用電設備。若保護接地不到位或不符合要求，在發生接地故障時，很容易引起工作人員觸電危險。因此，保護接地問題不容忽視，無論在設計過程還是施工過程中，都應切實地把保護接地落實到位。應進行保護接地的物體主要包括：變壓器、高壓開關柜、配電柜、控制屏等的金屬框架或外殼；固定式、攜帶式及移動式用電器具的金屬外殼...
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一、微電子廠房特點隨著科技技術的發展，電子產品生產日新月異，以微電子產品為代表的各種電子產品生產技術發展迅速。現代電子產品要求微型化、精密化高純度、高質量和高可靠性，以人們熟悉的手機、筆記本電腦為例，它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產過程都要求在受控環境條件下進行操作。根據生產要求對室內空氣的潔凈度、溫度、相對濕度以及壓力、噪聲、振動、靜電等參數進行控制的生產廠房。微電子廠房與其他工業廠房相比，空氣潔凈度等級高氣流方式大部分為單向流、送風量大、室內溫濕度要求高、噪聲振動要求高、大開間的開放式生產布置。二、微電子廠房凈化空調系統目前微電子廠房的送風方式主要有集中送風、隧道送風和風機過濾機組三種形式。(1)集中送風系統。室外新風經新風空調機組( MAU)處理裝置后，送至下技術夾層，室內送風經過高架地板至下技術夾層，新風和回風在下技術夾層混合后經表冷器(DCC干盤管)降溫，再經軸流風機增壓后的至送風靜壓箱內，再通過高效過濾器送至潔凈生產層。集中送風特點：單向流氣流方式的平均風速為0.2~0.4m/s，換算成換氣次數可達到250~600次換氣次數，整個環境送風量大，軸流風機將混合后的新風和回風通過風管送至送風靜壓箱內，則需要的軸流風機風量大、數量多。軸流風機布置在回風墻內不易安裝檢修。通過風管輸送流速高，所占用的回風墻面積小。(2)隧道送風。潔凈區的回風經回風墻與新風處理后的新風...
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一、凈化空調設備安裝施工質量驗收的通用要求。1齊全的隨機文件，既代表了產品的內涵質量，又是安裝、運行的依據，相關各方均應十分重視。2設備的開箱檢查、驗收是設備交接、安裝的重要環節，應根據具體工程情況確定由建設方和有關方共同進行，并認真做好開箱、驗收記錄。3設備的搬運、吊裝、就位是設備安裝中十分重要的環節,特別是大型、特殊結構的凈化空調設備，規范規定中強調：①應符合產品說明書要求，做好相關保護工作，防止設備損壞，這是確保設備安全搬運、吊裝、就位和在此過程人身安全的基本要求；②應符合相關標準規范中的有關規定，也是確保凈化空調設備安裝質量的重要依據，應該認真執行。二、規范規定了高效空氣過濾器安裝前應具備的條件和安裝驗收的主控項目的內容。潔凈廠房的高效空氣過濾器的安裝(包括安裝前、后的準備和檢漏)質量對空氣潔凈度的實現均至關重要，必須認真、實實在在地按規定實施。三、風機過濾器機組(FFU)的安裝和安裝前后的要求與高效空氣過濾器是相似的，但由于安裝FFU的吊頂上方的送風靜壓箱相對于潔凈室(區)是“負壓”，所以FFU與吊頂板的密封方式一般均為機械密封。FFU的檢漏要求與高效空氣過濾器是相同的。四、潔凈層流罩一般用于空氣潔凈度等級為6級~7級的潔凈室(區)內局部要求提供5級的獨立空氣凈化設備，它是確保產品生產所需較高的空氣潔凈度等級要求的重要手段，本條提出的潔凈層流罩安裝的主控項目內容，應認真執...
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潔凈工程有它的特殊性，電子產品潔凈廠房的特點非常明顯，第一個造價特點貴，隨著半導體工程的發展，這樣對于工廠的品質要求越來越高，玻璃基板的尺寸越來越大，從原來的一代線到現在的主流八代線，隨著基本尺寸大造價越來越高。第二個特點是工期短，由于半導體工廠的特點投資特點大，所有的建設方盡快短期進行生產，取得投資回報，作為施工單位來講擺在面前的一個特點就是工期要求非常緊。第三個特點是品質要求非常高，由于電子工廠它對廠房的依賴程度非常高，建廠當中的事故直接導致產品良品率的高低。第四個就是高復雜度，對于建廠來講，專業技術問題是一個非常全面的，涵蓋了多專業、多行業的問題，同時還有管理的問題。第五個特點是高整合度，對于建廠來講有這樣五個特點。對于關鍵難點第一個是高空作業，這是非常明顯的工作特點，安全、整個施工的難度都相應非常大，采取分層作業的施工方式，先把地板層做起來，這樣以地板層為界面分為上下兩個層面進行施工。第二個難題就是大面積精度控制，現在隨著產業的發展，往大，往精細化發展，這對于精度是一個很大的挑戰，如何進行精度的保證這對于實施這樣的項目來講也是高難度的方面，的做法是配置專業的測量人員。在大面積的情況下把精度控制在實施的要求范圍之內。第三個難點就是全過程潔凈施工控制，潔凈廠房相對其他廠房一個最大的特點就是潔凈的管控，潔凈的管控從建廠一開始到最后是全過程的控制，只有透過全過程的控制才能保證建出來...
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